自有核心專利

自有核心專利佈局完善,推動曝光機自主可控

公司核心團隊來自全球第一家曝光機巨頭 Ultratech,成立微影後自主研發核心 LED 光源(英)、軟件、對位系統、鏡頭參數控制、整光機數控制全流程尖端技術並擁有35項全球專利,助力半導體產業核心環節自主可控。

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