自主研發顯影／檢測設備

自主研發顯影、檢測設備，構建曝光全生態鏈平台

  • 塗步顯影機於英國與奧地利技術共同合作開發，具備15年以上，在德國NXP與新加坡HP公司設備產線⽣產經驗，主攻0.1um以上芯⽚⼯藝。
  • 未來可透過全收購，完成專利技術移轉⾄⼤陸⼯廠⽣產。
  • CD/Overlay檢測系統為英國團隊⾃有技術，未來可直接移轉⾄⼤陸⼯廠

6/8吋 自主技術塗布顯影機

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6/8吋 自主技術塗布顯影機

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國產自主CD/Overlay檢測系統 (封裝,MEMS,LED)

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