⾃研⾼景深鏡頭性能突出應⽤廣泛，適配 Ultratech/NIKON/CANON/ASML 等
鏡頭類型 | 應用場景 | 線寬指標 | 供應商 | 鏡頭 |
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小線寬、高精密 | 晶圓前道工藝 | 數十納米，多次曝光可到數納米 |
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大尺寸鏡頭 | 大尺寸產品—面板 | 微米級別 |
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高景深鏡頭
（焦點移動範圍更大，生產工藝窗口大，極大提升生產良率速率） | 高景深對焦——前道芯片製造，晶圓後道工藝的先進封裝、立體光刻（MEMS、
Power） | 幾十微米-0.35微米級別 |
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高景深鏡頭技術原理
公司自研高景深鏡頭技術， 具備絕對優勢
- 高景深鏡頭可廣泛應用於前、後道設備，未來市場空間廣闊
- 完美適配後道巨頭Ultratech世界唯一，可為客戶單獨替換鏡頭
- 可處理50um的翹曲，具備極強適配能力
- 全球唯一核心技術將完全轉移至國內，助力核心自主可控