LSE 產品特色:
1. 首創採用LED紫外光源，相較於傳統使用的劇毒汞燈，能耗僅為1%, 不僅節能，也減少了汞污染
2. 自研高景深長焦鏡頭配合LED光源，不但照度超越汞燈系統，還可實現GHI線快速分割及合併曝光，可大幅提升
曝光品質和效率，從2吋到12吋的晶圓尺寸，雙面對準系統等，適應各種半導體製程的需求
3. 塗佈顯影、曝光、檢測三大黃光核心製程技術完全由國人主導自主研發，並將於台灣設廠生產製造，提供客製化
「半導體黃光曝光生態平台」Turn-Key服務